DZH-15全自动共晶倒装贴片机
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DZH-15全自动共晶倒装贴片机是将APD芯片与热沉经过倒装键合,与TO-46型激光器件底座实现共晶焊接的全自动封装设备。从TO46管壳上料开始,经过管壳自动定位、晶圆上料、精密平台校准、SUB(热沉)共晶焊接,到成品下料,完成TO46器件的热沉与APD芯片倒装焊工艺。设备分为五个模块:1)TO搬送、校正模块;2)SUB搬送、校准模块;3)APD搬送、校准模块;4)DB共晶焊接模块;5)七工位相机组件模块。
此设备具有高速、高精度的特点,实现了复杂时序、严密逻辑的工艺过程。设备采用凸轮驱动、连杆联动、精密丝杆传动等结构,配合多轴运动控制、多相机视觉定位等技术,具有批量生产能力。
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垫块与TO46管座之间θ方向精度≤3°
垫块与TO46管坐上焊接位置X、Y方向的精度≤10μm
APD芯片与垫块上焊接位置X、Y方向的精度≤10μm
生产效率:8s/个
热台设定最大温度:450℃
热台气氛环境:氮气
芯片焊接压力:10g-30g
上料晶圆尺寸:6英寸
注:生产效率、贴片最终精度受来料本身加工精度与一致性的影响。
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扬州水利建筑工程有限责任公司于1956年8月成立,名为“扬州专区农田水利工程队”,后相继更名为“江苏省扬州专区水利基建工程队”、“扬州市水利基建工程处”,隶属于扬州市水利局。1993年增挂“扬州水利建筑工程公司”牌子,为两块牌子一套机构,原单位性质,级别隶属关系等不变。2005年6月扬州市水利基建工程处转企改制,扬州水利建筑工程公司继续实施自身改制和转换经营机制。2018年3月扬州水利建筑工程公司经扬州市国资委批准划转至扬州市水务投资集团有限公司。现为扬州市水务投资集团有限公司下属的独立子公司,目前公司现下设综合管理部、市场经营部、工程(设备)管理部、安全监督部、财务部五个职能部门和七个分公司。
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